检测设备

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在设备中转移晶圆的过程中，会产生各种有机污染例，如工艺制程中的污染物迁移、晶圆本身所含的污染物及设备产生的灰尘等。我们提供晶圆盒內部区域污染确认分析。

检测内容 : 金属离子 / 阴阳离子 / 液态微粒子 / 气态微粒子…… 等