洁净自动化传送 Clean Stocker

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Clean Stocker为AMHS的重要组成之一，在厂内负责FOUP/FOSB的储存与管理，In-line Stocker建置在制程区上，由Crane负责执行FOUP/FOSB的搬运工作，取代AGV (或RGV) 搬运系统的使用，能节省AMHS占用空间、降低AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间。