洁净室规范

ISO 14644-1 Class 1/3 高等级无尘室,确保洁净制造条件及高质量品质

欣福半导体科技(合肥)厂区内使用高洁净自动化传送设备高洁净自动化清洗洗净设备,可确保产品在高洁净无污染之环境中生产。

公司依不同制程要求搭配高洁净无尘室(ISO 14644-1 Class 1/3),可确保洁净制造条件及高质量品质。从原料投入到最终包装出货,全流程严格管控洁净度,为客户提供可信赖的高洁净载具产品与服务。

洁净室等级说明

C1

ISO 14644-1 Class 1

最高等级洁净区,用于质量检验、真空包装等关键环节,确保成品在最终环节不受污染。

最高等级 质量检验 真空包装
C3

ISO 14644-1 Class 3

高等级洁净区,用于清洗、干燥等核心制程,保障产品在制程中达到半导体级洁净度。

高等级 清洗制程 干燥制程
PRE

Class 3 预备区

用于来料检查、准备等前置环节,作为外部与洁净室之间的缓冲过渡区域。

缓冲过渡 来料检查 制程准备

厂区功能分区

高洁净自动化传送干燥储存区

配置自动化传送与储存设备,减少人员接触,确保产品干燥、洁净、有序流转。

高洁净自动化清洗洗净区

全自动高洁净清洗设备,多道清洗工艺,确保载具达到半导体级洁净标准。

洁净自动化传送投入储存区

来料投入与成品出货的中转储存区,自动化传送系统确保全流程人员零接触。

检测分析实验室

配备高精度检测设备,可检测至 PPT 等级,确保产品品质数据真实可靠。

ISO 14644-1 洁净度等级标准

ISO 14644-1 洁净度等级标准表

洁净室实景

洁净室工作人员
洁净室人员特写