核心设备

高端进口与国产精密设备,构建全流程智能化生产检测体系

设备总览

欣福半导体科技(合肥)厂区导入高洁净自动化传送及储存设备连接自动化清洗洗净设备,减少人员对产品质量之影响。 检测设备均来自国际一线品牌,可实现金属离子、阴阳离子、液态微粒子、气态微粒子、有机物质等全方位检测,检测精度可达PPT等级。

自动高洁净清洗机
自动化传送系统
自动化立体仓储

核心设备清单

编号设备名称进口/国产厂牌型号
1自动高洁净清洗机国产江苏芯梦FC-300
2自动化系统集成进口盟立自动化STK-01/02/03
3GC-MS气相层析质谱仪进口岛津(Shimadzu)GCMS-2020NX
4ICP-MS感应耦合电浆质谱仪进口安捷伦(Agilent)7900 ICP-MS
5IC离子层析仪进口赛默飞(Thermo Fisher)ICS-6000
6LPC液态微粒子检测器进口LighthouseRemote LPC 0.1
7APC气态微粒子检测器进口TSI9110s

核心设备展示

AMHS 自动化传送系统

AMHS自动化传送系统 1
AMHS 01

AMHS 自动化传送系统

高洁净自动化传送系统,连接自动化清洗设备,减少人为影响,提升生产效率。
AMHS自动化传送系统 2
AMHS 02

AMHS 自动化存储系统

自动化晶圆盒存储与调度系统,实现载具的高效、精准、无尘周转。

高洁净清洗线设备

高洁净清洗线 1
清洗线 01

高洁净清洗线

全自动高洁净清洗生产线,确保每一件载具达到半导体级洁净标准。
高洁净清洗线 2
清洗线 02

自动化清洗设备

集成多工序清洗工艺,实现高效、稳定、可追溯的载具清洗作业。
高洁净清洗线 3
清洗线 03

清洗生产线全景

Class 1/3 级无尘室内的完整清洗生产线布局,洁净环境全程保障。
清洗线观察窗口
观察窗口

清洗线观察窗口

全透明观察窗口设计,可实时监控清洗线作业状态,确保生产过程可视化管理。

设备优势

高精度检测

ICP-MS检测精度达PPT等级,GC-MS可鉴别10万种有机物,全方位保障品质。

自动化生产

高洁净自动化传送及储存设备连接自动化清洗设备,减少人为影响。

国际品牌

检测设备均来自岛津、安捷伦、赛默飞等国际一线品牌,性能稳定可靠。