服务参数
Class 1/3
洁净室等级
ISO 14644-1
8" / 12"
清洗尺寸
全尺寸覆盖
FOSB / FOUP
清洗类别
Shipping Box 等
30K/M
月产能
稳定交付能力
清洗流程
1
来料
In-coming
2
检查
Inspect
3
清洗
Cleaning
4
干燥
Drying
5
取样分析
Analysis
6
质量检验
Inspect
7
真空包装
Packing
Class 3 预备区
来料检查、准备环节
Class 3 洁净室
清洗、干燥核心制程
Class 1 洁净室
质量检验、真空包装
详细清洗步骤
1
投入载具
等待清洗的载具投入产线
2
IQC 投入前检验
检验载具状态，确认清洗方案
3
预清洗
去除表面大颗粒污染物
4
超纯水洁净清洗
DI Water 精细清洗
5
超纯水超声波清洗
超声波辅助去除微颗粒
6
超纯水洁净清洗
二次洁净清洗
7
超纯水喷淋冲洗
高压喷淋确保无死角
8
超纯水洁净清洗
最终精细清洗
9
加热喷气清除水渍
热风干燥去除表面水渍
10
静置干燥
Class 1 洁净室内静置干燥
11
质量检验
根据检验需求检测产品质量
12
真空包装出货
依据客户需求使用符合需求的包材真空包装出货
清洗设备与作业环境
拥有 ISO 14644-1 Class 1/3 级高洁净无尘室，配备自动化清洗生产线，确保每一件载具在洁净环境中完成清洗作业，达到半导体级洁净标准。
高洁净清洗线
自动化清洗设备
清洗生产线全景
AMHS 自动化传送系统
AMHS 自动化存储系统
清洗线观察窗口