服务说明
在设备中转移晶圆的过程中，会产生各种有机污染，例如工艺制程中的污染物迁移、晶圆本身所含的污染物及设备产生的灰尘等。我们提供晶圆盒内部区域污染确认分析，确保每一件载具在交付前都经过严格的品质检测，为客户提供可靠的数据支撑。
检测内容
金属离子检测 阴阳离子检测 液态微粒子检测 气态微粒子检测 VOS 检测 有机物分析
实验室检测仪器
配备国际一流品牌的高精度分析检测仪器，覆盖有机物、金属离子、阴阳离子等多维度检测，确保检测结果的准确性与可靠性。
GC-MS 气相色谱质谱联用仪
正面视图
GC-MS 气相色谱质谱联用仪
斜角视图
IC-MS 离子色谱质谱联用仪
正面视图
IC-MS 离子色谱质谱联用仪
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ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪
正面视图
ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪
斜角视图
检测设备一览表
| 检测项目 | 检测设备 | 说明 | 规格 |
|---|---|---|---|
| GCMS | 气相层析质谱仪 | 有机物检测 | 可鉴别10万种有机物 |
| LPC | 液态微粒子检测器 | 液态微粒子检测 | 0.1 / 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5 um |
| APC | 气态微粒子检测器 | 气态微粒子检测 | 0.1 / 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5 um |
| IC | 离子层析仪 | 阴阳离子检测 | F / Cl / Br / PO / NO / SO / NH 等阴阳离子 |
| ICPMS | 感应式耦合电浆质谱仪 | 金属离子检测 | Fe / Cu / K / Li / Mg / Na / Ca 等金属离子 |
检测能力详解
有机物检测
GC-MS 气相层析质谱仪
- • 设备厂牌：岛津 (Shimadzu)
- • 设备型号：GCMS-2020NX
- • 检测能力：可鉴别 10 万种有机物
金属离子检测
ICP-MS 感应耦合电浆质谱仪
- • 设备厂牌：安捷伦 (Agilent)
- • 设备型号：7900 ICP-MS
- • 检测元素：Fe / Cu / K / Li / Mg / Na / Ca 等
- • 检测精度：PPT 等级
阴阳离子检测
IC 离子层析仪
- • 设备厂牌：赛默飞 (Thermo Fisher)
- • 设备型号：ICS-6000
- • 检测项目：F / Cl / Br / PO / NO / SO / NH 等
液态微粒子检测
LPC 液态微粒子检测器
- • 设备厂牌：Lighthouse
- • 设备型号：Remote LPC 0.1
- • 检测粒径：0.1 / 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5 um
气态微粒子检测
APC 气态微粒子检测器
- • 设备厂牌：TSI
- • 设备型号：9110s
- • 检测粒径：0.1 / 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5 um
- • 用途：洁净室环境监控、制程气体检测
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