检测能力总览
在设备中转移晶圆的过程中，会产生各种有机污染，例如工艺制程中的污染物迁移、晶圆本身所含的污染物及设备产生的灰尘等。 我们提供晶圆盒内部区域污染确认分析，覆盖金属离子、阴阳离子、液态微粒子、气态微粒子、VOS 等多项检测内容。
公司拥有国内同产业内最高之高精度分析检测设备，可检测至 PPT 等级， 为客户提供可靠的数据支撑和质量保证。
五大检测能力
有机物检测
GC-MS使用气相层析质谱仪，对晶圆盒内部区域有机污染物进行定性定量分析。
检测设备
岛津 Shimadzu · GCMS-2020NX
金属离子检测
ICP-MS感应式耦合电浆质谱仪，高精度检测多种金属离子含量。
检测设备
安捷伦 Agilent · 7900 ICP-MS
阴阳离子检测
IC离子层析仪，对多种阴、阳离子进行精准定性定量分析。
检测设备
赛默飞 Thermo Fisher · ICS-6000
液态微粒子检测
LPC液态微粒子检测器，实时监测清洗液及超纯水中微粒子数量。
检测设备
Lighthouse · Remote LPC 0.1
气态微粒子检测
APC气态微粒子检测器，监控洁净室内空气微粒子浓度，确保环境合规。
检测设备
TSI · 9110s
检测粒径
0.1 μm 0.15 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm
实验室检测仪器
配备国际一流品牌的高精度分析检测仪器，覆盖有机物、金属离子、阴阳离子等多维度检测，确保检测结果的准确性与可靠性。
GC-MS 气相色谱质谱联用仪
正面视图
GC-MS 气相色谱质谱联用仪
斜角视图
IC-MS 离子色谱质谱联用仪
正面视图
IC-MS 离子色谱质谱联用仪
斜角视图
ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪
正面视图
ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪
斜角视图
检测设备一览
| 检测项目 | 检测设备 | 厂牌 | 型号 | 说明 |
|---|---|---|---|---|
| 有机物检测 | 气相层析质谱仪 | 岛津 Shimadzu | GCMS-2020NX | 可鉴别10万种有机物 |
| 金属离子检测 | 感应耦合电浆质谱仪 | 安捷伦 Agilent | 7900 ICP-MS | PPT等级，Fe/Cu/K/Li/Mg/Na/Ca等 |
| 阴阳离子检测 | 离子层析仪 | 赛默飞 Thermo Fisher | ICS-6000 | F/Cl/Br/PO/NO/SO/NH等 |
| 液态微粒子检测 | 液态微粒子检测器 | Lighthouse | Remote LPC 0.1 | 0.1/0.15/0.2/0.3/0.5 μm |
| 气态微粒子检测 | 气态微粒子检测器 | TSI | 9110s | 0.1/0.15/0.2/0.3/0.5 μm |
实验室环境